1999年 | 株式会社エスイーエス研究所設立 |
2000年 | エアスキャナ事業が通産省創造法に認定される |
エアスキャナ DS-16 発売開始 | |
2001年 | 「SEMI FDP Expo 2001」 出展 |
2004年 | 厚み形状測定システム AS-3000 発売開始 |
「中小企業総合展2004」 出展 | |
エアスキャナ高精度タイプ DS-16h の発売開始 | |
2005年 | (財)日本発明振興協会より「静電浮上力発生機構及びこれを用いた静電チャック装置」の開発に対し、第26回発明研究奨励金の交付を受ける |
2006年 | 伊藤忠産機肝゙ースより 「SEMICON Japan 2006」 出展 |
2008年 | 「nano tech 2008」 出展 「BIZMATCH@nanotech2008」セミナーにて発表 |
ナノテクノロジービジネス推進協議会(NBCI)ホームページに発表資料掲載中 | |
Super Engineering Serve Labo.
株式会社
非接触エアサーボの
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