上部開放絞り(r3)の調整による動作

�@上部開放絞り(r3)の調整で、ピストン上部の圧力(p1)をピストン下部の圧力(p2)より
　 高く設定すると、その差圧と自重によりピストンは下降する。
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�Aこの下降によりノズル(r5)に測定ワークが接近する。
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�Bピストン下部(p2)圧力が上がり、ピストン上部(p1)圧力と自重に等しくなると停止する。
　測定ワークに更に接近するとピストンは上昇する。
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�Cこのことで、ある一定の浮上量(d)を保ちながら測定ワークの高さに追従して
　 ピストン(ノズル)が上下する。
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�Dこのピストンの位置を光学的なセンサスケール・センサヘッドにより非接触で検出し
　 測定ワークの変位を測定する。

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「非接触ニューマチックサーボを用いた計測技術について」

　エアノズルからの反射圧力を用いた計測技術は、既に１世紀以上の歴史をもち、｢エアマイクロ｣等の名称により知られており実用化されている。
　この技術のもつ｢悪環境における信頼性｣や｢透明体の計測性｣は注目されており、最近では｢ＬＣＤ(液晶ディスプレイ)｣や｢ＰＤＰ(プラズマディスプレイ)｣の製造における非接触測定装置に採用されるようになってきた。
　また、今後は更に｢有機ＥＬ(電界発光)｣や｢光コンピュータ｣｢太陽電池｣の製造場面においても、特に有効な測定手段になってくる。
　非接触測定の方法として一般的な｢レーザ三角測量式｣や｢レーザ自動焦点式｣｢静電容量式｣等においては、いずれも透明なガラスの精密形状測定には課題があり、またガラスを基とした様々な材質のパターンや付加物の形状の測定についても多くの課題があった。
　すなわち、光の反射が透明体では安定しないことや誘電性などの材質の変化、測定条件による測定値の変動がその課題にあげられる。
　当研究所では、上記のエアノズルに生ずる反射圧力を用いた計測技術を、特許第2788162号や特許第2788168号、特許第3398244号、特許第3037531号に掲げる手法（非接触ニューマチックサーボと称する）にて、その計測技術を発展させお客様のニーズにお応えしています。

Super Engineering Serve Labo.

エスイーエス研究所

株式会社

非接触エアサーボの