エスイーエス研究所

株式会社

非接触エアサーボの

Super Engineering Serve Labo.

エアスキャナ の 特　徴  ･非接触 数十ミクロンのエア膜を介す非接触 ･高精度 繰り返し再現性　２σ=±0.2μm ･耐環境 熱収縮課程の計測 高温多湿の環境でも使用可能 ･材質不問 空気を通さない個体なら可 材質毎の設定不要 ･高ﾚﾝｼﾞｬﾋﾞﾘﾃｨ 測定範囲１０�o (内ﾘﾆｱﾘﾃｨは±5μm) ･クリーン 清浄なエア使用(ガスも可)のため ワークを汚さない ･簡単校正 基準（ゲージ）との比較測定も可能
非接触エアサーボ　変位測長器 　　リニアリティ補正が簡単！
製品名		エアスキャナ		エアスキャナ
型 　番		DS-16hs		DS-16s
標準価格		480,000円		360,000円
最小分解能		0.02μm		0.5μm
繰り返し再現精度		±2σ：±0.2μm		±2σ：±2.0μm
リニアリティ		±5μm/10�o		±5μm/10�o
測定範囲		10�o(st=16�o)		10�o(st=16�o)
測定ノズル		内径φ0.5�o　　外径1.0�o		内径φ0.5�o　　外径1.0�o
供給エア		0.03MPa / 5LPM以下		0.03MPa / 5LPM以下
データ出力		RS-422 A-B相		RS-422 A-B相
応答速度		4�o/sec		4�o/sec
納期(通常)		1.5ヵ月		1.5ヵ月
付属品		精密レギュレータ密
※仕様変更で横使いにも対応します
圧電弁を用いたデジタルニューマチックスライド方式 　動作の速度・加速度の制御が可能　装置の発生トルクの制限も容易にできる
非接触エアサーボ　小型アクチュエータ (１軸)
製品名		エアステッパ		エアステッパ
型 　番		AS-16		AS-20×60
ピストン受圧面積		20×14�o		60×60�o
ストローク		16�o		20�o
位置分解能		0.5μm		0.5μm
最大スピード		50�o/sec		50�o/sec
位置決め再現性		±2.0μm(2σ)		±2.0μm(2σ)
定格供給圧 / 流量		0.04MPa		0.2MPa / 15Nl
定格負荷(垂直使用)		50gf		36kgf
最大負荷(垂直使用)		200gf(0.1MPa)		120kgf(0.4MPa)
価　格		※お問い合わせください		※お問い合わせください
※仕様変更で様々なサイズにも対応します
非接触エアサーボ　アクチュエータ (2軸)
製品名		エアステッパ
型 　番		AS-60XY
ピストン受圧面積		X = 40×184�o　Y = 40×240�o
ストローク		X = 60�o　Y = 60�o
位置分解能		0.1μm 精度2μm
最大スピード		2.0m / sec
位置決め再現性		±2.0μm(2σ)
定格供給圧 / 流量		0.2MPa / 15Nl
定格負荷(加重・駆動)		10kgf ・ 50kgf
最大負荷(加重・駆動)		20kgf ・ 100kgf
価　格		※お問い合わせください